固体試料表面にＸ線を照射すると、表面から10 nm程度の領域から光電子が放出される。その光電子の運動エネルギーを計測し、結合エネルギーを算出すると、表面領域の構成元素種の同定および化学結合状態の評価などを行うことが可能。

モノクロメータX線源：Al Kα（最大600W）
デュアルアノードX線源：Mg/Al Kα（最大600W）
Arイオン銃、中和銃装備