ショットキー走査電子顕微鏡（SU5000）
メーカー・型式
日立ハイテク SU5000 [導入年：2019年]
詳細
EBSD, EDX付属
保証分解能1.2nm（加速電圧30kV）
モニター倍率：18～1,000,000x（800×600画素）
電子銃：ZrO/Wショットキーエミッション電子銃
試料サイズ：最大～200mmφ、最高～80mm
試料ステージ移動範囲：
X：0～100mm
Y：0～50mm
Z：3～65mm
T：-20～90°
R：360°
保証分解能1.2nm（加速電圧30kV）
モニター倍率：18～1,000,000x（800×600画素）
電子銃：ZrO/Wショットキーエミッション電子銃
試料サイズ：最大～200mmφ、最高～80mm
試料ステージ移動範囲：
X：0～100mm
Y：0～50mm
Z：3～65mm
T：-20～90°
R：360°