シリコン検出器製造装置
メーカー・型式
キューリック・アンド・ソファ社製 自動式細線アルミ線ワイヤーボンダー 3700Plus [導入年:2014年]
詳細



装置全体はクラス1000クリーンブース内にあり、マニュアルプローバー、手動式細線アルミワイヤーボンダー、自動式細線アルミ線ワイヤーボンダー、ボンドテスターから構成される。マニュアルプローバーでは、チップ等のプロービングによる試験が可能であり、8インチウェハにも対応可能である。両ワイヤーボンダーでは、手動もしくは自動式で細線25ミクロン径までのアルミ線ウェッジ方式のワイヤーボンディングが可能である。ボンドテスターは、フックを用いた破壊検査によりワイヤー接合強度を検査し、両ワイヤーボンダーのパラメータ調整に用いる。