メーカー・型式

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試料表面の凹凸を測定する装置
垂直範囲:10nm~65.5μm
垂直解像度:1nm
測定距離範囲:50μm~30mm
触針:ダイヤモンド触針(半径12.5μm)
触針追跡力:調整可能(0.01~0.4mN)
最大試料厚さ:20mm