バルク試料の広い範囲（数cm）から微小領域（数nm）までの形態情報及び分析結果をより短時間で得られる高輝度走査電子顕微鏡である。低真空機能及びX線分析装置（EDS）搭載。

最高分解能：　1nm （加速電圧20 kV）　3 nm（加速電圧1.0 kV）
電子銃：　インレンズショットキー電界放出電子銃
加速電圧：　0.5 kV～30 kV
照射電流：　数pA～300 nA
低真空圧力設定範囲：　10 Pa～150 Pa