放射線管理区域内に設置されており、放射性物質（ＲＩ）の内部組織観察及び微小領域の成分分析機能を有する。球面収差の補正機能（照射レンズ）を有し、ＳＴＥＭ／ＴＥＭによる高分解能観察が可能となる。