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SU6600
 ショットキーエミッション形電子銃を採用し、最大プローブ電流は200nA。低真空観察システム付属。アウトレンズ仕様であるため、鉄系サンプルも導入可能。付属装置としてEDX(エネルギー分散型X線分析装置)、WDX(波長分散型X線分析装置)、EBSD(電子線後方散乱回折装置),CL(カソードルミネッセンス分光装置)を搭載し、試料の多様な情報を得ることができる。
[二次電子分解能] 1.2nm(30kV), 3.0nm(1kV)
[反射電子分解能] 3.0nm(30kV)
[低真空時真空度]10~300 Pa