ショットキーエミッション形電子銃を採用し、最大プローブ電流は200nA。低真空観察機構付属。アウトレンズ仕様であるため、鉄系サンプルも導入可能。付属装置としてEDX(エネルギー分散型X線分析装置)、EBSD（電子線後方散乱回折装置）、CL（カソードルミネッセンス分光装置）を搭載し、試料の多様な情報を得ることができる。
[二次電子分解能] 1.2nm (30kV), 3.0nm (1kV)
[反射電子分解能] 3.0nm (30kV)