共焦点光学系を採用し、試料表面の微細形状を非破壊、大気中で観察・計測する高精細顕微鏡である。接触式粗さ計と互換性を持つ粗さモードを搭載している。
[光源]405nm半導体レーザー　[総合倍率]108～17,280倍
[平面分解能] 0.12μm [Z方向表示分解能] 1nm
[最大試料高さ]100mm
[試料ステージ] 100mm×100mm（電動）
2016年にリユースを行い、プローブ顕微鏡の機能を追加。