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JFC-1600
走査電子顕微鏡の前処理装置として、非導電性試料のPtコーティングを短時間で行うことができる。

[スパッタリング方式] マグネトロン型 [使用圧力] 20Pa以下
[ターゲット] Pt [試料台] 直径64mm