イオンコーティング装置(JFC-1600)
メーカー・型式
日本電子株式会社 JFC-1600 [導入年:2007年]
詳細
走査電子顕微鏡の前処理装置として、非導電性試料の
Ptコーティングを短時間で行うことができる。
[スパッタリング方式] マグネトロン型
[使用圧力] 20Pa以下
[ターゲット] Pt
[試料台] 直径64mm
Ptコーティングを短時間で行うことができる。
[スパッタリング方式] マグネトロン型
[使用圧力] 20Pa以下
[ターゲット] Pt
[試料台] 直径64mm