電子線3次元粗さ解析装置（ERA8900）
メーカー・型式
エリオニクス株式会社 ERA8900 [導入年：2008年]
詳細
走査電子顕微鏡に4台の二次電子検出器が装備されているため、極微な凹凸やうねりのある試料を容易に観察することができる。また検出器に入る二次電子信号量を定量的に捉え、試料のX,Yの傾斜角度を計算し、3次元形状を測定し、表面粗さ等の計測を行うことができる。2010年にEDXｼｽﾃﾑを導入したので元素分析が可能。
[二次電子分解能] 3.5nm [電子銃] ﾌﾟﾘｾﾝﾀｰﾄﾞﾀﾝｸﾞｽﾃﾝ
[加速電圧] 0.3～35kV [試料ｻｲｽﾞ] Φ125×H10mm（最大径）, Φ50×H30mm（最大厚）, Φ10×H10mm
[3次元測定系] Z方向分解能1nm [ﾋﾞｰﾑ走査] ﾃﾞｼﾞﾀﾙ走査, [測定方向] X方向、Y方向
[測長] X,Y方向の距離、Z方向の距離 [傾斜角度解析機能] 等高線、面積率、山数、粒度、表面積、鳥瞰図、JIS規格粗さﾊﾟﾗﾒｰﾀ
[二次電子分解能] 3.5nm [電子銃] ﾌﾟﾘｾﾝﾀｰﾄﾞﾀﾝｸﾞｽﾃﾝ
[加速電圧] 0.3～35kV [試料ｻｲｽﾞ] Φ125×H10mm（最大径）, Φ50×H30mm（最大厚）, Φ10×H10mm
[3次元測定系] Z方向分解能1nm [ﾋﾞｰﾑ走査] ﾃﾞｼﾞﾀﾙ走査, [測定方向] X方向、Y方向
[測長] X,Y方向の距離、Z方向の距離 [傾斜角度解析機能] 等高線、面積率、山数、粒度、表面積、鳥瞰図、JIS規格粗さﾊﾟﾗﾒｰﾀ