試料表面の形態を観察する装置である。分解能；3.5 nm (30 kV)、加速電圧：0.5～30kV、試料ｻｲｽﾞ；125mm径まで全領域観察可能、電子銃；ﾌﾟﾘｾﾝﾀｰﾄﾞWﾍｱﾋﾟﾝﾌｨﾗﾒﾝﾄ。非導電性試料の観察には導電処理して高真空で観察、前処理せずに低真空観察、あるいは低加速高真空観察が選択できる。ｴﾈﾙｷﾞｰ分散型Ｘ線分析装置を付属しており、試料の観察と同時に元素分析が可能。検出元素範囲；B～U。