[最大定格出力]　 60kV-50 mA
[検出器]　シームレス多次元ピクセル検出器
（従来型の検出器に比較して、高いエネルギー分解能を有するため、低バックグラウンド測定が可能）

薄膜測定に特化した仕様である。X線回折装置で評価できる構造パラメータには、結晶性、配向性等の結晶構造に関する情報、および膜厚、密度等の膜構造に関する情報の２つに大別されるが、本装置は、X線反射率測定、逆格子マップ測定、ロッキングカーブ測定等に対応している。