走査電子顕微鏡(JSM-IT700HR)
メーカー・型式
日本電子株式会社 JSM-IT700HR [導入年:2021年]
詳細
最高分解能: 1nm (加速電圧20 kV)
電子銃: インレンズショットキー電界放出電子銃
加速電圧: 0.5 kV~30 kV
照射電流: 数pA~300 nA
低真空モード: 10 Pa~150 Pa
付属機能: EDS EBSD
電子銃: インレンズショットキー電界放出電子銃
加速電圧: 0.5 kV~30 kV
照射電流: 数pA~300 nA
低真空モード: 10 Pa~150 Pa
付属機能: EDS EBSD
通常のSEM観察に加えて、EDS、EBSD機能を搭載