微小領域の極微量元素含有量や同位体比を測定する装置。レーザーを用いたサンプリングにより、準非破壊（破壊領域が特定困難な程度に極微小）分析が可能。希土類元素や同位体の組成に基づいて、岩石・鉱物などの起源や形成過程に加え、年代測定も実施できる。