物質・材料開発研究において必須な形態・表面観察、組成分析について、既定の観察位置へのステージの自動移動、加速電圧ON/OFFや検出器選択の全自動制御、フォーカス、非点補正、倍率設定等の自動制御が可能。インレンズショットキーPlus電界放出形電子銃、スーパーハイブリッドレンズ、上方ハイブリッド検出器を搭載した高分解能観察・高速元素分析仕様。中間PC、リモートデスクトップ、Netopを用いたシステムにより遠隔操作が可能。

[二次電子像分解能] 0.5 nm (15 kV), 0.7 nm (1 kV), 0.9 nm (0.5 kV)
[元素分析条件における分解能] 3.0 nm (加速電圧5kV、作動距離10mm、照射電流5nA)