[X-Y scan range] 90um×90um　[Z range] ≧10um
[サンプル搭載可能サイズﾞ] Φ210mm　H15mm
コントローラがNanoscope5からNanoscope6になりS/N等が向上。
大型試料測定、高分解能、操作性、多機能、拡張性のすべてのニーズに合致し、超低ノイズ・低ドリフトのクローズドループスキャナー搭載。
PeakForce Tapping技術によりワンプッシュオペレーションを可能にしたScanAsyst機能付属。