試料表面の凹凸を測定する装置。
　垂直範囲：10nm～65.5μm　　　　　　　 　　　　
垂直解像度：１nm
測定距離範囲：50μm～30mm 　　　　　　　　　
触針：ダイヤモンド触針（半径12.5μm）
　触針追跡力：調整可能（0.01～0.4mN） 　　　　
最大試料厚さ：20mm