試料最表面の高倍率の構造観察が可能。Top, Upper, Lower検出器を搭載し、観察目的に応じた信号情報を得ることができる。リターディング機能を搭載しているので、極表面のコントラストも観察可能。STEM検出器、半導体反射電子検出器を装備。導電性の無い試料も適切な極低加速電圧を選択すると、無蒸着で観察可能。鉄系試料等の磁性体は導入不可。EDX付属。
[二次電子像分解能] 1.0nm (加速電圧15kV、WD=4mm), 2.0nm (加速電圧1kV、WD=1.5mm、標準モード),
1.4nm (照射電圧1kV、WD=1.5mm、リターディングモード)　[電子銃]　冷陰極電界放出形電子銃