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SU8000
 Top,Upper,Lower検出器を搭載し、観察目的に応じた信号情報を得ることができる。リターディング機能を搭載しているので、極表面のコントラストが観察可能。STEM検出器、半導体反射電子検出器も装備。導電性の無い試料も適切な加速電圧を選択すると、無蒸着で観察可能。粉末の鉄系試料は導入不可。最大試料サイズは試料台を準備すれば100mmΦまで可能。
[二次電子像分解能] 1nm (15kV), 2nm (1kV), 1.4nm (1kV,リターディングモード)。エネルギー分散型X線分析装置を付属しており、試料の観察と同時に元素分析が可能。検出元素範囲;B~U。