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SU3500
試料表面を観察する装置である。操作性に優れている。
[分解能] 3nm (30 kV)   [加速電圧] 0.3~30kV
[試料サイズ゙] 130mm径まで全領域観察可能
[電子銃] プリセンタードWヘアピンフィラメント
非導電性試料の観察には導電処理して高真空で観察、前処理せずに低真空観察、あるいは低加速高真空観察が選択できる。土壌、岩石、植物、食品等も低真空観察で簡単に画像が得られる。
カメラナビゲーション機能を搭載しており、予め撮影したサンプル画像上でクリックすると、ステージが自動で動くので、多数のサンプルを試料台にセットし、観察することができる。
エネルギー分散型X線分析装置を付属しており、試料の観察と同時に組成元素分析が可能(検出元素Be-Am)。