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SU3500
 試料表面の形態を観察する装置である。
分解能;3nm (30 kV)、加速電圧:0.3~30kV、試料サイズ;130mm径まで全領域観察可能、電子銃;プリセンタードWヘアピンフィラメント。非導電性試料の観察には導電処理して高真空で観察、前処理せずに低真空観察、あるいは低加速高真空観察が選択できる。高感度低真空検出器を搭載しているため、低真空観察において反射電子像と同時に試料最表面の微細構造観察が可能である。エネルギー分散型X線分析装置を付属しており、試料の観察と同時に元素分析が可能。検出元素範囲;B~U。