電子顕微鏡における試料作成用に低真空状態で導電性
カーボン膜をコーティングする装置である。低真空領域における蒸着方法のため試料表面への回り込みも良く、ムラの少ないコーティングが可能。
[カーボンホルダ]　カートリッジタイプ
[蒸着方法]　アーク放電（フラッシュ式）
[コーティングﾞ回数] 1～19回　(任意設定)
[コーティング時間]　0.3秒/回　(１フラッシュ = 約3nm)