走査電子顕微鏡の前処理装置として、非導電性試料のPtコーティングを短時間で行うことができる。

[ｽﾊﾟｯﾀﾘﾝｸﾞ方式] ﾏｸﾞﾈﾄﾛﾝ型 　　 [ﾀｰｹﾞｯﾄ] Pt
[ｺｰﾃｨﾝｸﾞﾚｰﾄ(最大値)] 15nm/min
[試料ｻｲｽﾞ] 最大試料径　Φ60mm　 最大試料高さ　20mm