走査電子顕微鏡で観察する試料のチャージ防止に使用する。ホローカソード試料台を採用し、DC700V以下の低電圧放電でコーティングを行うため試料ダメージが少なく、サンプルの形状を問わずに極めて薄いコーティングで導電性を与えることができる。
オスミウム粒子は金や白金のように結晶化による粒子成長がなく、超高倍率観察にも適している。　
（105室にも同型のコータを設置している）
[試料室ｻｲｽﾞ] 内径120mm, 深さ90mm
[ｱﾉｰﾄﾞ]　Φ110mm
[ｶｿｰﾄﾞ] ﾎﾛｰｶｿｰﾄﾞ、内径105mm, 深さ37mm
[処理可能試料ｻｲｽﾞ] Φ100mm, 40mm H