試料にＸ線を下面から照射することにより、試料に含まれる元素から発生する蛍光Ｘ線を測定することでその組成を分析する。Na～Uまでの元素の非破壊、迅速測定が可能。粉末、バルク、液体、オイル等試料の状態を問わない（ガス以外測定可能）。試料の最大径300mm、最大高さは100mmである。
検出器は液体窒素が不要なSDD検出器を採用し、従来機に比べて高感度・高速測定が可能。4種コリメータ及び試料観察カメラを搭載しているので、試料の特定部位の測定にも有効。