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走査型プローブ顕微鏡(Scanning probe microscope)は、マイクロプローブまたは刺激を加える源を試料表面に近づけて、ミクロ領域の応答を測定するような顕微鏡(走査型トンネル顕微鏡や原子間力顕微鏡など)の総称である。大型試料用自動ステージを搭載。観察手法としてtapping mode, contact mode, MFM, LFなどが可能。ScanAsyst機能付。
[サンプル搭載可能サイズ] 210mm×15mm□
[スキャナ稼働範囲] 90um×90um×10um(クローズドループ)。