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AutoSE
偏光した光の電界が描く楕円形状を測定するエリプソメトリは、薄膜計測に使われる光学技術であり、分光エリプソメータは基板上の薄膜測定を非破壊で行うことができる。本装置は簡単な操作で1nm~15μmの膜厚範囲の単層膜から多層膜までの測定が可能である。
[測定方式] 液晶変調方式 
[波長範囲] 450nm-1000nm
[入射角度] 70度固定