icon-check-square メーカー・型式

 icon-check-square 詳細

AutoSE
分光エリプソメトリとは、サンプル表面での反射による偏光状態の変化を測定し、薄膜の膜厚や屈折率、消衰係数を非破壊、非接触で求める分析手法である。本装置は、簡単な操作で1nm~15umの膜厚範囲の単層膜から多層膜までのサンプル測定が可能、CCDカメラによる測定スポット位置の確認が可能、8種類のマイクロスポット搭載で100um以下の微小領域の測定に対応という特徴を持つ。
[測定方式] 液晶変調方式 
[光源] ハロゲンランプ及び青色LED
[波長範囲] 450nm-1000nm
[分光器] 迷光を最小に抑えた小型スぺクトログラフ
(分解能:3nm以下)
[入射角度] 70度固定
[スポットサイズ] 500um×500um; 250um×500um; 250um×250um; 70um×250um;
100um×100um; 50um×60um; 25um×60um
(いずれも四角形)