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誘導結合プラズマ(Inductively coupled plasma; ICP)をイオン化源にし、四重極マスフィルタを質量分析選択部に用いた溶液試料の超微量元素分析装置である。従来機より感度が1桁向上。
高エネルギーHeコリジョン技術により、より効果的な多原子イオン干渉除去機能を有す。特にCr,Fe,As,Se等でDL(検出限界)やBEC(バックグラウンド相当濃度)の低減が可能。感度がよい同軸ネブライザーを採用しているため、詰まりやすいので浮遊物には要注意。HFは使用不可。浮遊物はフィルタで濾過、共存元素濃度に注意して試料を調製する。