大気圧走査電子顕微鏡(AeroSurf1500)
メーカー・型式
株式会社日立ハイテク AeroSurf1500 [導入年:2016年]
詳細
含水試料もそのまま大気圧下で観察が可能であるが、観察倍率は数千倍程度。低真空から大気(数Pa~105Pa)の幅広い圧力下で観察できる。低真空モードではEDX分析が可能。隔膜と試料を接近させて観察する際に、接近しすぎると隔膜が破損してしまうので、利用にあたっては注意が必要。液体試料の導入量は5μL以下にする必要がある。
[最大試料サイズ] 55mmΦ、 [最大試料厚さ] 10mm