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AE1500
含水試料もそのまま大気圧下でSEMによる表面観察が
可能。低真空から大気(数Pa~105Pa)の幅広い圧力下で
観察できる。低真空モードではEDX分析が可能。
隔膜と試料を接近させて観察する際に、接近しすぎると隔膜が破損してしまうので、利用にあたっては注意が必要。
[最大試料サイズ] 55mmΦ、10mm
液体試料の導入量は5μL以下。