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電界放射走査型電子顕微鏡(JSM-6340F)
メーカー・型式
日本電子株式会社 JSM-6340F [導入年:1998年]
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詳細
2次電子像による表面形状観察ができる。フィールドエミッション型電子銃を搭載。
二次電子像分解能:1.2nm(15kV)、2.5nm(1kV)
試料ホルダ:12.5mmφ×10mmH、26mmφ×10mm