試料にＸ線を照射し発生する蛍光X線を分光して元素分析に用いる。Si（Li）を検出器とするエネルギー分散型のX線分析装置である。半導体検出器は液体窒素で冷却する。分析対象となるのはNaより重い元素である。LSI-11による定性、定量分析（各種プログラム付き）ができる。