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RAMAN
ラマン分光法は分子や結晶の振動スペクトルを測定する分光分析法であり、次のような利点がある; 顕微法によりμm オーダーの空間分解能。非接触分析が可能。in-situ分析が可能。無機物の分析が可能。 本装置は検出器、レーザー、グレーティングの切換えが自動であるので、人為的ミスが少なく操作性に優れている。広範囲高速マッピングや高空間分解能マッピング(DuoScan)等の各種マッピング測定が可能である。 
[搭載レーザー波長] 532,633,785nm 
[検出器] CCD(200~1000nm),
     InGaAs(850~1600nm)