電界放出形走査電子顕微鏡(JSM-6701F)
メーカー・型式
日本電子株式会社製 JSM-6701F [導入年:2007年]
詳細
多層膜や超微粒子等の微細構造を容易に観察することができる。冷陰極電界放出形電子銃採用。 2種(SEI, LEI)の二次電子検出器、半導体反射電子検出器を搭載しているので、目的に応じて選択可能。鉄系試料は導入時に注意が必要。エネルギー分散型X線分析装置付属(検出元素B~U)。
[二次電子像分解能] 1nm (15kV), .2nm (1kV)
[二次電子像分解能] 1nm (15kV), .2nm (1kV)