オスミウムコータ(Tennant20)
メーカー・型式
メイワフォーシス㈱ Tennant20 [導入年：2023年]
詳細
チャンバー寸法：Φ150×70mm
試料台装填可能個数：Φ10mm×35個、Φ15mm×10個、Φ30mm×5個
電流値設定：0.1～20.0mA（制限電流は最大30mA）
膜厚設定：0.5nm～
試料台装填可能個数：Φ10mm×35個、Φ15mm×10個、Φ30mm×5個
電流値設定：0.1～20.0mA（制限電流は最大30mA）
膜厚設定：0.5nm～
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