誘導結合高周波プラズマ（inductively coupled plasma）発光分光分析法では、プラズマ状態のアルゴンの雰囲気中に試料を置いて、試料中の成分元素を励起して発光させ、その光の波長を分光してスペクトルを得る。光の波長から元素の定性分析、光の強度から定量分析を行う。
アルゴンガス消費量：アルゴンプラズマガス最小8L/min
検出器：CCD検出器
起動時間：装置起動後１０分程度で分析開始可能
光学系：縦型デュアルビューオプティカルシステム、ダブルモノクロメーター　
波長範囲：165 nm　～　900 nm　　　　
分解能：0.009 nm at 200 nm、 0.027 nm at 700nm