薄膜の厚さ、応力、および表面の粗さと形状を計測でき、正確度、繰り返し性、再現性が極めて高く、幅広い用途に対応できる。ナノオーダーでの表面計測が可能。
触圧範囲：0.03～15mg
スキャン長：55mm
最大試料サイズ：100mm×100mm×50mm
高さ測定範囲（最大）：1mm
高さ分解能：0.1nm（6.5µm測定レンジ選択時）