原子間力顕微鏡（AFM）は原子像などサブナノメートルオーダーの表面形状計測に利用されるが、走査型プローブ顕微鏡（SPM）は形状計測に加えて電磁気特性，機械特性などの物性測定を同時に行うことが出来る．SPMは一般に操作が難しくデータの取得には技術が必要とされてきたが，当該機器ではカンチレバー取り付けのワンタッチ化により操作性が向上しており，簡便に高度な測定が可能である．
コンタクトモードによるAFM機能，ノンコンタクトモードによるDFM（ダイナミックフォースモード）機能，電気物性測定機能（C-AFM（電流），SSRM（拡がり抵抗），KFM（表面電位），EFM（静電気力），PRM（圧電応答）），機械物性測定機能（LM-FFM（横振動摩擦），VE-AFM（粘弾性），アドヒージョン，フォースカーブマッピング）を有する．