波長分散型蛍光X線分析装置（WDX）では粉末ならびにバルク等の各種材料・物質を、前処理なしかつ非破壊で迅速に組成分析でき、材料全体の組成を簡便に知ることができる。
真空条件で、ホウ素(B)からキュリウム(Cm)までの粉末、バルク、液体、オイル等の組成分析が可能。試料保護膜不要の上面照射方式により、高精度分析が可能。最大定格出力4kWのRhターゲットと波長分散方式により、重金属元素と共存する微量軽元素・ハロゲンの多成分同時定量分析が可能。スタンダードレス分析SQX（多層薄膜分析対応）により簡便に定量可能であるが、標準試料を用いて検量線を作成することでより正確に定量可能。
視野制限0.5mmφのポイント(点)・ライン(線)・エリア(面)分析（マッピング分析）が可能（500万画素の試料観察用CCDカメラ内臓）