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JAMP-7800F
固体試料表面に電子線を照射したときに、試料から発生するオージェ電子のエネルギーを分光し、元素分析を行う。Liより原子番号の大きい元素の組成分析ができる。電子線ビーム径を絞ることが出来るため、2次電子像を見ながら試料の局所領域をねらって測定できる(この点でXPSよりも優れている)。ただし試料のチャージアップ(特に絶縁物)には注意が必要である(この点でXPSよりに劣る)。測定は超高真空環境で行われる。
 試料ホルダーは20mmφ×6mmHと12mmφ×4mmHの2種類があり試料サイズによって使い分ける。フィールドエミッション型電子銃を搭載し、オージェ分析領域は最小で15nmであるが通常は10~100μmΦの分析径で測定する。1wt.%.程度の元素濃度であれば測定可能。半球型静電アナライザを搭載。Arスパッタによるデプスプロファイル分析、オージェ電子像による元素分布の測定(ライン分析とマッピング分析)、2次電子像による形態観察が出来る。静専用試料室での試料の冷却・加熱や破断・イオンエッチングが可能。各種データ処理機能(元素の帰属、スペクトルの微分、定量分析など)も用意されている。
 また、オプションとして質量範囲1~500amuの簡易型2次イオン質量分析装置が組み込まれている。