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XGT5000
 試料の光学像から測定位置を指定して透過X線像、蛍光X線像(マッピング)及び蛍光X線スペクトルを同時に測定・分析する装置である。Na~Uまで測定可能。 
[空間分解能]100um,10um(選択可)
[最大測定エリア] 100mm×100mm
[最大試料サイズ] 350mm×400mm×40mm