走査電子顕微鏡(SS550)
メーカー・型式
島津製作所製 SS550 [導入年:2001年]
詳細
試料表面の形態を観察する装置である。分解能;3.5 nm (30 kV)、加速電圧:0.5~30kV、試料サイズ;125mm径まで全領域観察可能、電子銃;プリセンタードWヘアピンフィラメント。非導電性試料の観察には導電処理して高真空で観察、前処理せずに低真空観察、あるいは低加速高真空観察が選択できる。エネルギー分散型X線分析装置を付属しており、試料の観察と同時に元素分析が可能。検出元素範囲;B~U。