誘導結合高周波プラズマ分光分析（inductively coupled plasma spectrometry）は不活性ガスのプラズマ中に試料を置き試料中の成分元素を励起して、それから放射された光（発光）を分光してスペクトル線を得る。定性分析において70元素以上の多元素同時定性分析が可能。
シーケンシャル分析、波長固定分析の双方において、検量線法、標準添加法、内標準法が可能。

　マウンティング：ツェルニターナ、光路長1,000mm
　分光素子：ホログラフィック平面回折格子110mm×135mm
　波長範囲：160～500nm