走査型プローブ顕微鏡
メーカー・型式
Agilent Technologies社製 5500Scanning probe Microscope [導入年：2010年]
詳細
表面形状観察のための原子間力顕微鏡法(Atomic Force Microscopy : AFM)と電気特性を調べるための走査ケルビンプローブ原子間力顕微鏡法(Kelvin probe Force Microscopy : KFM)が可能。
性能
| (1) AFM測定 | カンチレバーの先端に取り付られた鋭い探針(先端が数nmの針)で試料表面をなぞり、探針と試料表面間に働く力を検知することにより表面形状の情報を得ることが出来る。DCとACモードの２つが使用できる。高さ方向の分解能は0.1nm程度。 |
|---|---|
| (2) KFM測定 | 探針に電圧を加えて試料表面の静電気力を検知することにより、表面電位測定や絶縁体の帯電分布の観察が出来る。 |
| ※試料サイズは縦横1cm ×1cm程度、高さ数mm程度。走査範囲は数10μm。 ユーザーの方は簡易取扱説明書とDVDを参照しながら測定を行ってください。 | |