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固体試料表面を観察する装置である。電界放射型電子銃およびインレンズ方式の採用により、低加速電圧下での高倍率観察(最高80万倍)が可能であり、エネルギー分散型X線分光による元素分析もできる。但し、インレンズ方式ゆえ、標準的な試料サイズとして概ね 3mm x 5mm x 高さ1mm より小さくする必要があり、強磁性を有する物質には適用できない。