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35-ESCA5800
Conventional Mg, Al Kα~400W, Monochromated Al Kα~350W、超高真空排気装置
 X線を照射することによって発生する光電子を検出することによって、ナノ表面の元素組成、化学シフトを解析する。金属ナノ粒子や金属錯体、高分子ポリマーなどや表面での電荷の状態などを綿密に解析することによって、
元素組成や価数・結合状態を評価する。オージェ分光、イオン銃による深さ方向プロファイルの評価も可能。