電子線マイクロアナリシス法（Electron Probe Micro Analysis）は細く絞った電子線を固体表面に照射し、発生する特性Ｘ線のエネルギーを測定して表面の組成分析を行う方法である。
二次電子分解能6ｎｍ、分析元素Be－U
定性分析、半定量分析、定量分析、線分析、面分析、などができる。
これまでに電子部品はんだ接合部の共晶組織と金属間化合物の同定。航空機用Aｌ/CFRPハイブリッド材の高倍率マッピング。ウィスカーを配合した歯科用材料のカラーマッピング、などの分析例がある。