試料にＸ線を下面から照射することにより、試料に含まれる元素から発生する蛍光Ｘ線を測定することでその組成を分析する。C～Uまでの元素の非破壊、迅速測定が可能。粉末、ﾊﾞﾙｸ、液体、ｵｲﾙ等試料の状態を問わない（ｶﾞｽ以外測定可能）。試料室の対応最大径300mm、最大高さは150mmである。軽元素の感度向上のために真空、He雰囲気での測定に対応している。不明試薬の分析にも利用可能。FP(ﾌｧﾝﾀﾞﾒﾝﾀﾙﾊﾟﾗﾒｰﾀ)法により標準試料を準備しなくても定量可能であるが、標準試料を用意すればより正確に定量可能。。